VOC廢氣處置工藝辦法有：噴淋+等離子、噴淋+UV光解、噴淋+光解等離子、微生物法、RCO熄滅法、稀釋回收法 。

在實踐工程運用中，針對小氣量低濃度的場所可以思索微生物法。具有易燃性質的廢氣，普通建議采用噴淋預處置后再配套其他處置工藝。

VOC廢氣處置各種工藝的優(yōu)缺陷:

1、噴淋+等離子采用的中心原理是等離子場分解，優(yōu)點：設備占空中積小，次要針對低濃度；缺陷：有一定的隱患，污染效果不波動。

2、噴淋+UV光解采用的中心原理是臭氧分解，優(yōu)點：污染效果高，處置效果波動，次要針對中低濃度；缺陷：需控制氧化停留工夫。

3、噴淋+光解等離子采用的中心原理是復合臭氧和等離子，優(yōu)點：污染效率高，次要針對中等濃度；缺陷：有一定的隱患。

4、微生物法采用的中心原理是生物降解，優(yōu)點：沒有二次凈化，設備能耗??；缺陷：運轉操作要求高，設備體積大，需求活期補充微生物，維護本錢高。 

5、RCO熄滅法采用的中心原理是低溫熄滅，優(yōu)點：次要針對高濃度無機廢氣，凈化成分分解；缺陷：能耗高，運轉操作要求高，設備體積大，有一定的隱患。

6、稀釋回收法 采用的中心原理是萃取稀釋，優(yōu)點：次要針對成分單一的廢氣回收有價值的成分，有經(jīng)濟效益；缺陷：操作性要求高。在實踐工程運用中，針對小氣量低濃度的場所可以思索微生物法。具有易燃性質的廢氣，普通建議采用噴淋預處置后再配套其他處置工藝。